電子廠凈化工程設計規范
一、總則
1.1本規范適用于新建、改建和擴建的電子廠凈化工程的設計，包括凈化區域的規劃、建筑設計、設備選型、安裝及調試等。

1.2凈化工程設計應遵循設計標準、行業標準和技術規范，確保工程質量、安全、環保和經濟效益。

二、術語和定義
2.1凈化度：指空氣中塵埃、微生物等有害物質濃度的控制程度。

2.2凈化區域：指通過空氣凈化設備對空氣進行過濾，達到一定凈化度的區域。

2.3生物潔凈室：指采用空氣層流或混合流凈化技術的潔凈室，主要用于生產生物制品、藥品等。

2.4 物理潔凈室：指采用空氣過濾技術，控制空氣中塵埃等有害物質濃度的潔凈室。

三、凈化區域規劃
3.1凈化區域應與生產區域分開，避免交叉污染。

3.2凈化區域應根據生產要求劃分不同的凈化等級，并采取相應的凈化措施。

3.3凈化區域的設計應考慮人流、物流的合理流向，減少交叉污染的可能性。

四、建筑設計
4.1凈化區域的建筑結構應具有足夠的強度和密閉性，包括高效過濾器、FFU風機過濾單元、高效送風口以保證凈化效果。

4.2凈化區域的地面、墻面、頂面應采用易于清潔、防靜電、耐腐蝕的材料。

4.3凈化區域的門窗應密封良好，并采取防塵、防蟲措施。

五、設備選型與安裝
5.1空氣凈化設備應選用高效過濾器，其過濾效率標準。

5.2空氣凈化設備的選型應考慮凈化等級、處理風量、能耗等因素。

5.3空氣凈化設備的安裝位置應合理，風淋室、傳遞窗等確保氣流方向和凈化效果。

5.4空氣凈化設備的控制系統應具備實時監測、報警和遠程控制功能。

六、空氣凈化
6.1凈化區域應采用空氣層流或混合流技術，確保空氣流向和流速。

6.2空氣凈化設備應定期清潔和維護，以保證其凈化效果。

6.3凈化區域的溫度和濕度應控制在適宜范圍內，以保證生產環境穩定。

七、防塵與防菌
7.1凈化區域應采取有效的防塵、防菌措施，如使用防靜電地面、防塵服等。

7.2凈化區域的人員應經過專業培訓，遵守凈化操作規程。

八、安全與環保
8.1凈化工程設計應充分考慮安全與環保要求，確保生產安全和環境保護。

8.2凈化工程的設計有關消防安全、職業健康等。

九、驗收與運行
9.1凈化工程竣工后，應進行驗收，包括凈化度檢測、設備運行測試等。

9.2凈化工程投入運行后，應定期進行維護和檢測，確保凈化效果。

十、附則
10.1本規范自發布之日起實施。

10.2本規范由電子工業標準化研究院負責解釋。

10.3本規范如有修改，將另行通知。