電子電器無塵車間凈化工程裝修(電子潔凈廠房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn))彩鋼板隔間裝修工程，電子電器無塵車間工程——電子制造潔凈車間——無塵車間——凈化工程——電子潔凈廠房設(shè)計(jì)，電子制造潔凈車間亦名無塵室或潔凈室，目前已是半導(dǎo)體、制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來，由于技術(shù)之發(fā)展，對于產(chǎn)品的高度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司擁有多年國內(nèi)外電子制造潔凈車間、無塵車間的設(shè)計(jì)、制作、安裝經(jīng)驗(yàn)，設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中。

電子電器無塵車間凈化工程適用場所：電子廠，半導(dǎo)體廠，光電產(chǎn)業(yè)，機(jī)電房.恒溫恒室實(shí)驗(yàn)室，百級無塵車間潔凈廠房等。
1、電子電器無塵車間凈化路線：
電子電器無塵車間為了在操作中盡量減少人活動產(chǎn)生的污染，人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前，必須更換潔凈服并吹淋、洗澡、消毒。這些措施即“人身凈化”簡稱“人凈”。

人凈用房中更換潔凈服的房間應(yīng)予送風(fēng)，并對入口側(cè)等其他房間保持正壓，對廁所、淋浴保持少許正壓，而廁所、淋浴應(yīng)保持負(fù)壓。

2、電子電器無塵車間物料凈化路線：
各種物件在送入潔凈區(qū)前必須經(jīng)過凈化處理，簡稱“物凈”。物料凈化路線與人凈路線應(yīng)分開，如果物料與人員只能在同一處進(jìn)入潔凈室，也必須分門而入，物料并先經(jīng)過粗凈化處理。電子制造潔凈車間氣流→初效過濾器凈化→空調(diào)→中效過濾器凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化高效送風(fēng)風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效過濾器凈化 重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。

電子制造潔凈車間節(jié)能原則：電子制造潔凈車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。電子制造潔凈車間之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會造成電子制造潔凈車間的運(yùn)行性能降低和能耗增加。

一、電子電器無塵車間主體工程:
1、地面：
A、主廠房：承載力>=2噸/平方米，有防水層，面層要求水磨石，設(shè)備房地面承載力要求>2噸/平方米，面層為水泥漿原漿找平;

B、庫房：一樓地面要求承載力>=3噸/平方米，二樓地面承載力>500 kg/㎡，面層均要求水磨石，水磨石表面平整，接縫平直，縫漿飽滿，縱橫方向無明顯錯臺錯位，地面找平處理后,局部的平整度誤差不得高于2mm/2M2;

C、氫氣站、硅烷站地面承載力>2噸/平方米,面層為水泥漿原漿找平;

2、高度：要求廠房最低凈高6000mm;倉庫層高5000mm;

3、跨度：橫向8000m，縱向7～8m(見詳設(shè)備布局圖)，設(shè)備房寬度要求9000m;

4、屋面荷載：空調(diào)機(jī)房頂屋面要求>500kg/㎡，尾氣處理位置>500 kg/㎡(本荷載沒有考慮風(fēng)載、雪載等，若有屋頂發(fā)電站則要考慮電站的基本參數(shù));
5、裝修：設(shè)備房、庫房、非潔凈區(qū)域、氫氣站、硅烷站要求中級抹灰粉刷，潔凈區(qū)域要求水泥砂漿粉刷，衛(wèi)生間按中等標(biāo)準(zhǔn)裝修;

6、門、窗：
A、 門：進(jìn)/出貨門為5000×5000MM卷簾門，向外開的衛(wèi)生間門為850mm×3000mm，設(shè)備房外墻門為3500×3000mm，安全逃生門為1200mm×3000mm，其他外墻門為4000mm×3000mm;
B、窗：廠房窗為高窗，窗臺高度為4000mm，每跨有一扇可推拉;庫房窗一樓為高窗，窗臺高度為4000mm,每跨有一扇可推拉，二樓以上按標(biāo)準(zhǔn)廠房設(shè)計(jì);

C、泵房窗：泵房窗為固定磨砂玻璃隔熱保溫窗，每跨有一扇可推拉，長方向要設(shè)計(jì)對流排氣風(fēng)機(jī)且要考慮冬季保溫;

D、天窗設(shè)置要符合設(shè)備布置要求;

E、參觀窗(樓梯)設(shè)置要符合二次裝修及參觀通道設(shè)計(jì)要求;

7、衛(wèi)生間：衛(wèi)生間布局要按照甲方統(tǒng)一圖紙規(guī)劃;

8、氫氣站、硅烷站、氮?dú)庹?、特氣房的設(shè)計(jì)均要按照相關(guān)規(guī)范及甲方設(shè)備布局要求進(jìn)行設(shè)計(jì);

9、消防工程：主廠房消防設(shè)計(jì)要根據(jù)二次裝修需求和布局進(jìn)行統(tǒng)一設(shè)計(jì)，滅火器要求用手推式二氧化碳滅火器;設(shè)備房、特氣房、氣站及庫房可按照相關(guān)消防規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)，特氣站、特氣房的防雷、避雷和防靜電要符合要求，主廠房內(nèi)部防火墻的設(shè)計(jì)應(yīng)按照裝修布局給予考慮;

10、照明：庫房、設(shè)備間、衛(wèi)生間的照明按相關(guān)規(guī)范進(jìn)行設(shè)計(jì)，主廠房內(nèi)部照明不需設(shè)計(jì);

11、電梯與卸貨平臺：庫房電梯要求B1800mm×L3000mm,電梯開門寬度最少1800mm，載重>3噸;卸貨平臺要按照要求設(shè)置;
12、設(shè)備配套設(shè)施：

A、設(shè)備接地布置要按照設(shè)備布置圖進(jìn)行設(shè)計(jì);

B、設(shè)備排水(管/溝)及循環(huán)水設(shè)施要按照工藝及設(shè)備布置要求進(jìn)行設(shè)計(jì);

C、地面鋪設(shè)鋼板位置要按照設(shè)備布置要求進(jìn)行設(shè)計(jì);

D、循環(huán)水池和循環(huán)水的設(shè)計(jì)要按照工藝要求進(jìn)行設(shè)計(jì);

E、設(shè)備房及屋頂設(shè)備的設(shè)備基礎(chǔ)要按照設(shè)備基礎(chǔ)設(shè)計(jì)要求進(jìn)行設(shè)計(jì);

F、自來水用量要求：80T/H，各進(jìn)水口具體位置要滿足工藝要求，且每處進(jìn)水口均應(yīng)配備閘閥和水表;電用量要求：10000KVA;

G、供熱：設(shè)備房、庫房、衛(wèi)生間按當(dāng)?shù)毓針?biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)，廠房空調(diào)房區(qū)域應(yīng)預(yù)留DN300的熱水管，壓力為0.3MPa~0.4MPa，水溫60～80℃，具體供暖在二次裝修考慮;

H、車間層壓機(jī)段要設(shè)計(jì)地下室(用于做真空泵，本地下室需要通風(fēng)排風(fēng)，防水設(shè)計(jì));

I、廠房為丙類。

二、超凈裝修設(shè)計(jì)要求：
(1)、車間布局與結(jié)構(gòu)

1、凈化區(qū)域各房間吊頂標(biāo)高：
車間凈化工程中正常區(qū)域的標(biāo)高為2.8m，PECVD區(qū)域?yàn)樘厥鈪^(qū)域，其標(biāo)高為3m。彩鋼板防火墻設(shè)置要符合消防規(guī)范要求，在潔凈區(qū)域與非潔凈區(qū)域交接處的墻體應(yīng)做到屋面板底。

2、凈化區(qū)域隔墻：
車間凈化區(qū)域的隔墻需嚴(yán)格按照公司提供的圖紙施工，對特殊區(qū)域有要求按先后順序施工的必須按公司要求進(jìn)行施工。
3、地坪指標(biāo)要求：
3.1、車間地坪需要做平整，在一平方米區(qū)域內(nèi)伏不超過1mm，以便設(shè)備安裝找平;

3.2、車間地坪不會脫層、不起灰塵及耐磨，不起泡，氣泡允許每平方米1個，且要小于直徑2mm。

3.3、地面要求：超凈間地面要求用環(huán)氧樹脂自流平，組件段采用環(huán)氧薄涂，氣體房(含氫氣、硅烷及特氣間)也用薄涂。
4、車間鋼質(zhì)鋼板門和窗的尺寸：

4.1、單扇門的尺寸為1000*2100mm;

4.2、雙開門的尺寸為2200*2700mm;

4.3、安全逃生門的尺寸為1200*2100mm;
4.4 防火墻防火門尺寸為2400*2800mm;

4.5、活動墻的尺寸為4000*2700mm(施工中可分成兩扇2000*2700mm);

4.6、PECVD后的觀察窗的尺寸為300*150mm，辦公室、冷卻間門上的觀察窗為尺寸為350*500mm;

4.7、層壓機(jī)、白玻璃清洗機(jī)、一次清洗機(jī)觀察窗的尺寸為：1150*400mm;

注：相同型號門開孔的高度需一致。

5、設(shè)備隔墻準(zhǔn)確位置、開口大?。?br /> 因部分設(shè)備在安裝過程中有穿過彩鋼板，因此隔墻的開口位置、大小應(yīng)適應(yīng)設(shè)備需求現(xiàn)場開口。

6、車間風(fēng)淋室：
人員進(jìn)入超凈前應(yīng)經(jīng)過風(fēng)淋室，風(fēng)淋室為雙人通行。風(fēng)淋室應(yīng)自帶互鎖裝置，人員進(jìn)入風(fēng)淋室在未達(dá)到預(yù)設(shè)吹風(fēng)時間的情況下不能進(jìn)入車間，吹完后人員進(jìn)入車間，在出門未合上前進(jìn)門不能開啟，直到出門合上后方可打開進(jìn)門放人員進(jìn)入。貨物風(fēng)淋間開門尺寸為2200*2400mm。

7、無塵車間頂部的消防排煙裝置：
設(shè)計(jì)單位在設(shè)計(jì)時需要對無塵車間頂部的消防排煙送風(fēng)及排風(fēng)做好設(shè)置。現(xiàn)在土建施工圖上已有設(shè)計(jì)的部分要盡量充分利用。

8、緊急逃生門為專用逃生門。

9、車間消防設(shè)施：
車間消防需按消防標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)，消防噴淋采用空氣預(yù)作用啟動方案進(jìn)行設(shè)計(jì)，在冷卻區(qū)、退火區(qū)和PECVD區(qū)域的噴淋頭要求耐高溫>120度。

(2)、空調(diào)部分
1、車間溫度、濕度、潔凈度指標(biāo)
車間潔凈區(qū)的溫度為25℃±2℃，濕度30%~60%，潔凈度超凈都為10萬級。更衣室、風(fēng)淋間、冷卻間、工件架擦拭、工件架清洗采用10萬級送風(fēng)，排風(fēng)采用直排。退火間、冷卻間的溫度應(yīng)控制在30℃以下，濕度應(yīng)小于<60%。

2、車間工藝用冷卻循環(huán)水使用單獨(dú)的制冷設(shè)備，工藝?yán)鋮s水在往設(shè)備供水時應(yīng)保證供水的水溫在17-21℃。

3、凈化送風(fēng)風(fēng)口以及非凈化送風(fēng)風(fēng)口位置要求：
凈化區(qū)風(fēng)口與非凈化區(qū)風(fēng)口除PECVD外沒有特殊要求，只要能滿足溫度及濕度要求即可。PECVD風(fēng)口要求：高效送風(fēng)口不得直吹PECVD沉積室及預(yù)熱爐，回風(fēng)口不得安排在PECVD沉積爐排氣管后面。

4、空調(diào)機(jī)組所需電力需求、占地面積：
設(shè)計(jì)單位應(yīng)提供空調(diào)機(jī)組所用的功率，空調(diào)機(jī)房機(jī)組設(shè)備基礎(chǔ)所占用的面積和基礎(chǔ)圖，以便在前期施工中實(shí)施。

5、空調(diào)用水量的預(yù)估
設(shè)計(jì)單位在中標(biāo)后，應(yīng)及時提出空調(diào)的冷、熱水用水量，以便在土建過程中完成管道的施工。

6、空調(diào)的控制要求：
因生產(chǎn)過程中車間空調(diào)屬無人值班的設(shè)備，因此設(shè)計(jì)單位在設(shè)計(jì)時應(yīng)采用自動控制系統(tǒng)，以便設(shè)備的正常運(yùn)行。

7、空調(diào)回風(fēng)過濾要求：
空調(diào)送風(fēng)是10萬級的，經(jīng)過與超凈間內(nèi)部空氣的接觸，整個回風(fēng)中會攜帶大量的細(xì)小粉塵回到空調(diào)主風(fēng)箱中而污染主風(fēng)箱過濾網(wǎng)，因此在所有的空調(diào)回風(fēng)口都需要安裝過濾網(wǎng)。

8、排風(fēng)要求：
退火間、冷卻間、工件架擦拭間、工件架清洗機(jī)、車間門口換鞋區(qū)都應(yīng)采取單獨(dú)排風(fēng)系統(tǒng)，上述回不得與其它區(qū)域的回風(fēng)混合。各排風(fēng)量需設(shè)計(jì)單位依據(jù)各功能間的面積算好換風(fēng)次數(shù)，排風(fēng)次數(shù)要求大于30次/小時，以保證各功能間的正常使用。

9、風(fēng)管制作安裝要求：
設(shè)計(jì)單位設(shè)計(jì)空調(diào)管路時要注明管路材料標(biāo)準(zhǔn)，風(fēng)管制作時應(yīng)保證材料表面的清潔，送風(fēng)管道及回風(fēng)管道在安裝完后應(yīng)及時做好密封工作。

10、其它要求
通風(fēng)管道在設(shè)計(jì)時應(yīng)避開車間采光口(采光口詳見車間土建施工圖紙)。

11、空調(diào)冬季制暖使用熱水制暖的形式。

12、每個消火栓和閘閥均應(yīng)設(shè)計(jì)獨(dú)立可開的彩鋼門。

(3)、電器部分
1、超凈間各房間照度要求：
超凈間照度在>150(LUX)，員工操作區(qū)域?yàn)?50LUX。

2、凈化間照明控制要求：

2.1凈分間照明可采用本地控制加分片總控，單個開關(guān)控制照明燈小于20盞;

2.2 PECVD的照明控制需要離開PECVD沉積室一定的距離(大于8米);此部分燈具要求耐高溫》120度且不能直接裝在PECVD頂部，應(yīng)設(shè)計(jì)在兩沉積室的中間頂部或前方。

3、凈化間插座安裝位置、高度要求：
3.1凈化間的每一根柱子上都需要安裝插座面板，面板上需要有一個兩孔插座及一個三孔插座，高度為離地面75cm;

3.2 非凈化區(qū)凈化區(qū)的每根柱子上也需要安裝插座面板，面板上需要有一個兩孔插座及一個三孔插座，高度為離地面75cm;

4、照明、插座以及動力設(shè)備電源引入位置：

照明與插座將共用一路主電源，照明也同樣需要經(jīng)過漏保，電源將從車間配電房引入，動力電也是從車間電房引入，吊頂以上要有維修照明燈和維修插座。

5、消防用電源引入位置。

消防用電從車間配電房兩個不同的變壓器下的低壓柜引入。

6、安全指示牌、應(yīng)急燈都需按標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計(jì)(盡量充分利用土建施工現(xiàn)有設(shè)計(jì)的部分)。

7、非超凈間的照明要求：

7.1 超純水房、空調(diào)房的照度為100LUX;

7.2 氣體房的照度為100LUX，氣體房的燈應(yīng)使用防爆燈。

7.3 磨邊區(qū)、組件后段的照度為150LUX，操作區(qū)域?yàn)?50LUX，采用節(jié)能燈(鋁合金廣照燈)。

8、工藝設(shè)備用電：
8.1工藝設(shè)備用電依設(shè)備需要確定給設(shè)備配備電纜，設(shè)備電纜在設(shè)計(jì)過程中需滿足設(shè)備工藝用電的需求，能確保設(shè)備用電安全;
8.2 精密設(shè)備與其它動力設(shè)備需分開單獨(dú)拉線，如激光設(shè)備的電纜需與其它設(shè)備用電分開。

9、配電箱設(shè)計(jì)：
每個配電箱在設(shè)計(jì)時除把主要用電設(shè)備的空開計(jì)算在內(nèi)，另外還需留有一些備用空開以滿足增加部分設(shè)備及維修接電。
10、車間配電房接地：
因車間設(shè)備均屬于大功率設(shè)備，設(shè)備使用過程中會有很大的電流。因此在電房建造過程中應(yīng)做好電房接地，以保證車間設(shè)備的使用安全。

11、所有設(shè)備和功能性電源的電纜均應(yīng)按最短路徑原則進(jìn)行設(shè)計(jì)，電纜和空開的計(jì)算不要太保守盡量不擴(kuò)大系數(shù)。

(4)、水部分：
1、自來水，車間生產(chǎn)過程中需使用自來水的地方：

1.1 純水間;

1.2 磨邊間;

1.3 氣體房;

1.4 空調(diào)房;
注：以上地點(diǎn)用水量視車間規(guī)模大小而定，設(shè)計(jì)部門將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一分段主管需增設(shè)主閥門，未端需增設(shè)分控閥門，以便設(shè)備維修時控制。

2、超純水，車間生產(chǎn)過程中需接入超凈水的設(shè)備：

2.1 二次導(dǎo)電玻璃清洗(導(dǎo)電玻璃一次清洗將使用二次清洗使用過的水);

2.2 白玻璃清洗;

2.3 芯片清洗;

注：設(shè)計(jì)部門將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一段需設(shè)一個主閥門，未端需設(shè)分控閥門，以便設(shè)備維修時控制?？紤]到各清洗工序?qū)τ盟馁|(zhì)量高，因此在純水供水點(diǎn)的未端需加一個電阻率測量儀，以便及時掌握純水設(shè)備產(chǎn)水的情況。

3、冷卻循環(huán)水，車間生產(chǎn)過程中會使用到冷卻循環(huán)水的設(shè)備：

3.1 PECVD匹配器、分子泵;

3.2 PECVD真空泵系統(tǒng);

3.3 磁控線真空泵系統(tǒng)、磁控線加熱箱冷卻系統(tǒng)、靶材冷卻;

3.4 層壓機(jī)真空泵系統(tǒng);

注：設(shè)計(jì)部門將依車間用水需求而定輸水管徑的大小。管道每一段需設(shè)一個主閥門，未端需設(shè)分控閥門，以便設(shè)備維修時控制。管道焊接時應(yīng)及時將橡塑保溫管套上，防止管道表面結(jié)露水。

4、水循環(huán)利用補(bǔ)充說明

4.1 磨邊區(qū)域水的循環(huán)利用，磨邊區(qū)域產(chǎn)生的磨邊廢水經(jīng)過沉淀池去除二氧化硅粉顆粒后，經(jīng)過潛水泵再返回到磨邊機(jī)儲水槽中進(jìn)行利用，以充分利用水資源。

4.2 純水間制超純水產(chǎn)生的濃水因其含礦物質(zhì)較多無法再將其再用于制造超純水，但可以將其收集起來用于廠區(qū)清潔及花草養(yǎng)護(hù)，以提高水資源的利用率。

4.3 清洗層電玻璃、白玻璃、電池芯片的去離子水，經(jīng)過上述工序的去離子水中會新增粉塵或清洗劑，其PH值約為8-9。這部分水經(jīng)過過濾及酸堿綜合后將可作為純水制造的源水使用。

4.4 建議設(shè)計(jì)充分考慮水循環(huán)方案。

(5)、氣部分，車間生產(chǎn)過程中使用以下幾種氣體：

1、壓縮空氣，用到壓縮空氣的設(shè)備有：

1.1 磨邊機(jī);

1.2 一次激光機(jī)、二次激光機(jī)、三次激光機(jī);

1.3 二次清洗機(jī);

1.4 每臺PECVD沉積室，每兩臺真空泵系統(tǒng);

1.5 磁控線(PVD);

1.6 掃邊機(jī);

1.7 芯片測試機(jī);

1.8 反壓機(jī);

1.9 層壓機(jī);

1.10 組件測試機(jī);

1.11 組件打膠區(qū);

1.12 氣體房;

1.13 純水間;

1.14 芯片清洗;

1.15 自動化傳送線。

注：空氣壓縮機(jī)的供氣壓力為8-9Kg，輸氣管道的正常壓力在8Kg。因輸氣管道較長，在設(shè)計(jì)時應(yīng)的各主要用氣點(diǎn)設(shè)置氣壓表，以便及時了解管道氣壓情況及點(diǎn)檢之用。

2、氮?dú)?，用到氮?dú)獾脑O(shè)備有：

2.1 一次激光機(jī)、二次激光機(jī)、三次激光機(jī)、掃邊機(jī);

2.2 工件架擦拭;

2.3 純水設(shè)備;

2.4 PECVD真空倉室、干泵;

2.5 磁控線(PVD);

2.6 氣體房氣路柜;

2.7 尾氣處理(壓力6-7kg)

注：氮?dú)獾墓鈮毫?-5Kg，輸氣管道的正常壓力在4Kg。因輸氣管道較長，在設(shè)計(jì)時應(yīng)的各主要用氣點(diǎn)設(shè)置氣壓表，以便及時了解管道氣壓情況及點(diǎn)檢之用。

3、特殊氣體，需使用特殊氣體的設(shè)備為PECVD沉積室。

(6)、車間設(shè)備排氣部分：

1、清洗機(jī)

1.1一次清洗機(jī)每臺的排氣量為 1500立方米/小時(在超凈間外，可忽略)

1.2二次清洗機(jī)每臺的排氣量為 1000立方米/小時，采用直接排至室外，排氣所含的成份為熱水蒸氣，熱水蒸氣的溫度約為60攝氏度。

1.3芯片清洗機(jī)每臺的排氣量為1500立方米/小時，采用直接排至室外，排氣所含的成份為熱水蒸氣，熱水蒸氣的溫度約為60攝氏度。

1.4白玻璃清洗機(jī)每臺的排氣量為900立方米/小時，采用直接排至室外，排氣所含的成份為熱水蒸氣，熱水蒸氣的溫度約為60攝氏度。

2、激光掃邊機(jī)
激光掃邊機(jī)每臺風(fēng)機(jī)的排風(fēng)量為3800立方米/小時。激光掃邊機(jī)的排氣主要含有大氣及激光掃邊過程中產(chǎn)生的粉塵。此排氣可以通過專門的排氣管道直接排至大氣中。

3PECVD油泵、維持泵，PVD油泵，層壓機(jī)油泵排氣
3.1PECVD每臺的排氣量為180立方米/小時;

3.2PVD每臺的排氣量為120立方米/小時;

3.3層壓機(jī)每臺的排氣量為 252立方米/小時;

3.4以上油泵排氣可以通過一條特殊管道(如鍍鋅圓管加一防爆排風(fēng)機(jī))來實(shí)現(xiàn)從車間至外界的排氣。油泵排出氣體的主要成份為大氣及油泵自身的油氣，排出的氣體可以通過除油后直接排往大氣。

4、PECVD干泵排氣

4.1PECVD每臺干泵的排氣量為5立方米/小時，

4.2其主要排出的氣體為PECVD工藝過程中未完全反應(yīng)完的特殊氣體及特殊氣體在工藝過程中產(chǎn)生的粉塵。

4.3PECVD干泵排氣因其存在特殊氣體及粉塵，因此從PECVD干泵出來的氣體需要經(jīng)過燃燒爐及除塵器處理后方可將尾氣排入大氣中。

4.4各臺PECVD干泵出來的尾氣需要經(jīng)過管道集中起來后送入燃燒爐，尾氣管道需要采用無縫鋼管及無縫焊接。

5、氣路柜、氣瓶柜、VMB排氣

5.1 氣路柜每臺需求的排氣量為300立方米/小時;其排氣的主要成分為大氣，特殊情況下會含有一些泄露的工藝氣體，
5.2 氣瓶柜每臺需求的排氣量為250立方米/小時;

5.3 VMB每臺需求的排氣量為50立方米/小時;

5.4其排氣的主要成分為大氣，特殊情況下會含有一些泄露的工藝氣體。工藝氣體在遇到大氣的情況下都能自燃，因此上述排氣可以通過管道直接排至大氣中。

(7)、設(shè)備發(fā)熱量
1、車間內(nèi)會存在加熱的設(shè)備或存在散熱的設(shè)備

1.1各種清洗機(jī)的風(fēng)刀產(chǎn)生的熱風(fēng)，因采用排風(fēng)管，此處的熱風(fēng)可忽略;

1.2PECVD沉積爐，其加熱系統(tǒng)功率為12KW，設(shè)備的尺寸為1970*1627*1365mm，共有六個散熱面，散熱面的表面溫度為40-50攝氏度。

1.3預(yù)熱爐，其加熱功率為40KW，設(shè)備尺寸為1970*1627*1365mm，共有六個散熱面，散熱面的表面溫度為40-50攝氏度。
1.4退火爐，其加熱功率為30KW，設(shè)備尺寸為，共有六個散熱面，散熱面的表面溫度為40-50攝氏度。

1.5做完工藝的工件架，此工件架為一個含37塊鋁基板及72片導(dǎo)電玻璃的設(shè)備，此設(shè)備的溫度需要在3小時內(nèi)從200攝氏度降到50攝氏度。設(shè)備及玻璃的尺寸分別為1320*1200*950mm,1245*635*3.2mm。

1.6層壓主機(jī)外及層壓好的電池板，層壓主機(jī)區(qū)域溫度為40-60攝氏度，層壓好的電池板溫度為120-130攝氏度，尺寸為1245*635*8mm，電池板的溫度需在3小時內(nèi)要降至50攝氏度。